Chemshunpłyta polerska z wafli glinowychStół obrotowy wykonany jest z wysokiej czystości tlenku glinu (99,7-99,9%). Wysokiej czystości ceramika z tlenku glinu charakteryzuje się wyjątkową sztywnością i doskonałą odpornością na zużycie, co ułatwia polerowanie płytek, a także zachowuje dobry kształt powierzchni przez długi czas. Jest kształtowana przez PIBM. Jest ona wykorzystywana w przemyśle półprzewodnikowym ze względu na niezrównaną stabilność termiczną i wymiarową oraz odporność na trudne warunki panujące w urządzeniach do przetwarzania mikroprocesorów.
Planaryzacja chemiczno-mechaniczna (CMP), znana również jako polerowanie chemiczno-mechaniczne, to technologia wykorzystywana w procesie produkcji układów półprzewodnikowych. Wykorzystuje korozję chemiczną i siły mechaniczne do wygładzania płytek krzemowych lub innych materiałów podłoża podczas przetwarzania.
Sprzęt CMP składa się głównie z dwóch części: polerującej i czyszczącej. Część polerująca składa się z czterech części, a mianowicie 3 obrotowych stołów polerujących oraz modułu załadunku i rozładunku płytek. Część czyszcząca odpowiada za czyszczenie i suszenie płytki, aby zapewnić jej prawidłowe wyschnięcie. W całym sprzęcie polerującym istotną rolę odgrywa ceramika na bazie tlenku glinu.
Ceramikę na bazie tlenku glinu stosuje się zwykle do przygotowywania tarcz polerskich do płytek półprzewodnikowych, które wymagają wysokiej czystości, dużej trwałości chemicznej i dobrej kontroli kształtu i chropowatości powierzchni.
Ceramiczna tarcza szlifierska Chemshun 99,7% Al2O3 wykonana jest z zaawansowanych materiałów ceramicznych, które nadają się do precyzyjnego szlifowania różnych materiałów, a w szczególności materiałów kruchych, takich jak wafle, ceramika i szkło. Nasza ceramiczna tarcza szlifierska jest dostępna w różnych rozmiarach, dostosowanych do różnych modeli szlifowania i polerowania.
Czas publikacji: 30 maja 2025 r.