Ponieważ tarcze do polerowania płytek ceramicznych z tlenku glinu i szafirowe tarcze do docierania stosowane w polerowaniu półprzewodników, diamentów itp.
Proces: Wszystkie rodzaje procesów polerowania i docierania, takie jak chemiczne polerowanie mechaniczne CMP, polerowanie mechaniczne, polerowanie precyzyjne.
Wysoka czystość i trwałość chemiczna
Wysoka wytrzymałość mechaniczna i twardość
Wysoka odporność na korozję
Odporność na wysokie napięcie
Odporność na wysokie temperatury do 1700ºC
Ekstremalna odporność na ścieranie
Doskonała wydajność izolacji
Wszystkie rodzaje rozmiarów 180,360, 450, 600 mm itp
Nazwa produktu | 99,7 ceramiczne tarcze polerskie z tlenku glinu o wysokiej czystości |
Materiał | 99,7% tlenku glinu |
Normalny rozmiar | D180, 360, 450, 600 mm, akceptowany niestandardowy rozmiar. |
Kolor | kość słoniowa |
Aplikacja | Proces CMP wafli i szafirów w przemyśle półprzewodnikowym |
Minimalne zamówienie | 1Rys |
Jednostka | 99,7 Ceramika z tlenku glinu | ||
Właściwości ogólne | Zawartość Al2O3 | % wag. | 99,7-99,9 |
Gęstość | gm/cc | 3,94-3,97 | |
Kolor | - | kość słoniowa | |
Absorpcja wody | % | 0 | |
Właściwości mechaniczne | Wytrzymałość na zginanie (MOR) 20 ºC | MPa(psix10^3) | 440-550 |
Moduł sprężystości 20ºC | GPa (psix10^6) | 375 | |
Twardość Vickersa | Gpa(kg/mm2) R45N | >=17 | |
Siła wyginania | Gpa | 390 | |
Wytrzymałość na rozciąganie 25ºC | MPa(psix10^3) | 248 | |
Odporność na pękanie (KI c) | MPa* m^1/2 | 4-5 | |
Właściwości termiczne | Przewodność cieplna (20ºC) | W/mk | 30 |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej (25-1000ºC) | 1x 10^-6/ºC | 7.6 | |
Odporność na szok termiczny | ºC | 200 | |
Maksymalna temperatura użytkowania | ºC | 1700 | |
Właściwości elektryczne | Wytrzymałość dielektryczna (1MHz) | ac-kv/mm(ac v/mil) | 8.7 |
Stała dielektryczna (1 MHz) | 25ºC | 9.7 | |
Rezystywność objętościowa | om-cm (25ºC) | >10^14 | |
om-cm (500ºC) | 2×10^12 | ||
om-cm (1000ºC) | 2×10^7 |
Akceptujemy niestandardowe zamówienia.
Jeśli chcesz poznać więcej informacji o produkcie, skontaktuj się z nami, a my zapewnimy Ci najbardziej odpowiedni produkt i najlepszą obsługę!